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XP-62X/XP-63X系列微纳米定位台
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XP-62X系列压电纳米定位台是采用VS12系列促动器直接驱动，具有大承载、快速响应、高可靠性和长寿命等特点，SGS传感器实现全闭环运动、高谐振频率和更大的拉力是该定位台的优势。该系列定位台可以组合成二维、三维的微动台产品。
XP-63X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直接驱动结构设计，具有快速响应、高可靠性和长寿命等特点，该系列微动台可以组合成二维、三维的微动台产品。
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